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MOCVD生长的p型GaN薄膜中Mg掺杂的优化与分析
通过优化Mg流晕增强了MoCVD生长的GaN薄膜的p型电导并改善了晶体质量.Hall测量结果表明卒穴浓度首先随着Mg流量的升高而升高,达到......
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